精密微電子行業凈化工程

　　凈化車間目前已廣泛應用于半導體、精密電子元件、液晶制造、光學儀器制造、線路板制造和手機、計算機等精密微電子行業，凈化工程的設計過程中，應加強對微電子行業凈化工程設計方案分析了解,根據該工程項目的具體情況，并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。

　　精密微電子凈化工程一般包括：

　　1)潔凈生產區

　　2)潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）風淋室

　　3)管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）

　　4)設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）

　　精密微電子凈化工程凈化參數：

　　●換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

　　●平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季<26℃；波動±2℃。

　　●溫度：45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。

　　●噪聲：≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。 　

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